Yarı İletken Kaplama için Ir-Ta Kaplamalı 2*3mm Delikli Titanyum Genişletilmiş Örgü

Yarı İletken Kaplama için Ir-Ta Kaplamalı 2*3mm Delikli Titanyum Genişletilmiş Örgü, ASTM B265 Sınıf 1 ticari saf titanyum levhadan üretilmiştir. Damgalı ağdan farklı olarak, genişletilmiş yapı, malzeme kaybı veya kaynaklı kesişmeler olmadan, burada 2 mm × 3 mm- olarak belirtilen, elmas-şeklinde- sürekli bir açıklık oluşturarak titanyum alt tabakanın doğuştan gelen korozyon direncini ve yapısal bütünlüğünü korur. Genişletme adımı, şeritleri kontrollü bir açıda yönlendirerek etkili yüzey alanını arttırırken anot yüzeyi boyunca eşit akım dağılımını korur. Yarı iletken kaplama uygulamaları için, bu geometri doğrudan elektrot boyunca kararlı elektrolit akışına, en aza indirilmiş kabarcık sıkışmasına ve tutarlı elektrik alan çizgilerine dönüşür; bunların hepsi levha seviyesindeki alt tabakalarda mikron altı kaplama tekdüzeliği elde etmek için kritik öneme sahiptir. Genişlemenin ardından ağ, doğal oksitleri çıkarmak için şiddetli alkali yağdan arındırma ve asitle dağlama işlemine tabi tutulur ve sonraki karışık -metal oksit kaplama için mekanik sabitleme sağlanır.

İridyum-tantal (Ir-Ta) oksit kaplama, öncü tuzların termal ayrışması yoluyla uygulanır ve eser klorürler içeren sülfürik asit-bazlı elektrolitlerde oksijen oluşumu için özel olarak tasarlanmış boyutsal olarak kararlı bir anot (DSA) elde edilir-gelişmiş yarı iletken bakır kaplama banyolarında karşılaşılan kimyanın aynısı. 2*Ir-Ta ile 3mm Delikli Titanyum Genişletilmiş Örgü Yarı İletken Kaplama için Kaplama, cıvalı sülfat referans elektrotuna kıyasla 1,385 V kadar düşük bir aşırı potansiyel oksijen çıkışı sağlar ve darbeli periyodik ters (PPR) kaplama işlemlerinde hücre voltajını ve enerji tüketimini doğrudan azaltır. Ir-Ta formülasyonu, rutenyum-bazlı kaplamaların daha hızlı bozunmaya maruz kalacağı bakır damassen işlemlerinde yaygın olan yüksek-akım-yoğunluklu darbeler altında anodik çözünmeye karşı üstün direnç gösterir.

Ek olarak, tantal oksit bileşeni kaplama yapısını stabilize ederek, tipik yarı iletken dörtlü-dörtlü kaplama döngüleri altında çalışma ömrünü 36 aydan fazla uzatır. Her bir ağ partisi, düzleştirme ve son işlem aşamaları sırasında otomatik görüş sistemleriyle denetlenir ve kalınlık toleransının ±0,05 mm dahilinde olduğu ve otomatik kaplama aleti kullanımıyla uyumlu kenar çapaksız-profiller onaylanır. Sonuç, boyutsal kararlılığı koruyan, parçacık dökülmesini ortadan kaldıran ve gelişmiş ara bağlantı metalizasyonu için gereken tekrarlanabilir, yüksek{8}}saflıkta kaplama performansını mümkün kılan, kirlenmeyen-bir anottur.

Sülfürik asit içeren klorür-de üstün korozyon direnci

Tantal oksit bileşeni, gelişmiş bakır kaplama kimyalarında standart bir katkı maddesi olan eser miktarda klorür içeren elektrolitlerdeki anodik saldırıya karşı kaplama matrisini stabilize eder. Titanyum alt katman tamamen pasif kalır ve çözünmüş ana metalden bakırın kirlenmesi riskini ortadan kaldırır.

En aza indirilmiş kabarcık sıkışması ve iyileştirilmiş kütle aktarımı

Açık ağ yapısı, gelişen oksijen kabarcıklarının elektrot yüzeyinden hızla ayrılmasına olanak tanır, sınır tabakası direncini azaltır ve tutarlı elektrolit akışını korur. Damgalı örgü veya katı plaka alternatifleri daha yüksek gaz tutma özelliği sergiler, bu da yerelleştirilmiş koruma ve kaplamanın tek biçimli olmamasına yol açar-.

Kirlilik-ücretsiz çalışma

Hem titanyum alt tabaka hem de Ir-Ta kaplama, kaplama koşulları altında etkisizdir. Elektrolite kurşun, antimon veya diğer çözünür türler salınmadığından, periyodik anot torbası değiştirme ihtiyacını ortadan kaldırır ve 10μm'nin altındaki özelliklerde parçacık kusurlarını azaltır.

 

Kalınlık toleransı ve çapaksız-kenarlar

 

Genişletme sonrası düzleştirme ve sonlandırma, otomatik görüntüleme sistemleriyle kontrol edilerek kalınlığı ±0,05 mm nominalde tutar ve tüm şerit kenarlarındaki çapakların alınmasını sağlar. Bu, membran ayırıcılarda veya levha işleme takımlarında mekanik hasarı ortadan kaldırır.

Uzatılmış servis ömrü

1,5 M H₂SO₄'da 2 A/cm² altında hızlandırılmış ömür testi (ALT), 36 aylık sürekli çalışmayı sürekli olarak aşar; kaplama bozulması, yıkıcı bir arıza yerine voltaj artışıyla gösterilir ve öngörülebilir bakım planlamasına olanak tanır.

Özelleştirilebilir geometrik parametreler

 

2 mm x 3 mm'lik bir açıklık olarak belirtilmesine rağmen, genişletilmiş örgü işlemi, şerit genişliği, açılma açısı ve açık alan yüzdesi üzerinde bağımsız kontrole olanak tanıyarak, takım yenileme maliyetleri olmadan özel kaplama takımı tasarımları ve sıvı akışı gereksinimleri için optimizasyona olanak tanır.

• Mantıksal düğümler için bakır şam – 10 nm'nin altındaki hendeklerin boş-alttan{-yukarıya doğru doldurulması için 300 mm kaplama araçlarında anot düzeneği; genişletilmiş ağ, PPR dalga formları altında eşit akım dağılımı sağlar.

• (TSV) dolgulu-silikon aracılığıyla – 10:1–20:1 en boy oranı geçişleri için dikey bölmelerde tam-enine-kesitli anot; uzun süreli yüksek-akım-yoğunluk döngüleri sırasında istikrarlı oksijen oluşumunu korur.

• Panel düzeyindeki paketlemede yeniden dağıtım katmanı (RDL)- – Yatay kanatlı kaplama sistemleri; 2×3mm açıklıklar sürekli elektrolit devridaimi sağlar<3% thickness variation across 600mm substrates.

• Çevirmeli çip için-çarpma metalizasyonu (UBM) altında- – Seçici kaplama araçlarında bölümlenmiş akım kontrolü; kaplama, performansta sapma olmaksızın periyodik ters temizleme döngülerine dayanır.

• Gömülü izleme alt katmanı (ETS) yüksek-yoğunluklu ara bağlantılar – Dikey sürekli plakalar (VCP); anot paneli tüm alt tabaka genişliğini kaplayarak dışarı sürüklenmeyi en aza indirir ve katı plaka bakım kısıtlamalarını ortadan kaldırır.

• Otomotiv ve elektrikli cihazlar için altın/nikel çıkıntı – Yüksek-akım-yoğunluğunda çalışma (3–8 ASD); düşük aşırı potansiyel, elektrolit ısınmasını azaltarak 20–100μm'lik darbelere karşı banyo stabilitesini korur.

• Elektrolitik bakır folyo son-işlem – 6–18μm folyo için sürekli hatlar; genişletilmiş ağ, krom-bazlı pasivasyon aşamalarında 1400 mm ağ genişliğinde eşit akım sağlar.

• Kaplama aleti yenilemeleri – Lam Research, Applied Materials, NEXX sistemleri için doğrudan değiştirme; Ir-Ta kaplama, orijinal rutenyum-bazlı anotlara göre daha uzun servis aralıkları sunar.

Tel: 0917-3873009

Telefon: +86 18992731201

E-posta:zhangjixia@bjygti.com

Faks: 0917-3873009

Adres: Hayır. 195, Gaoxin Bulvarı, Yüksek-Teknoloji Geliştirme Bölgesi, Baoji Şehri, Shaanxi, Çin

WhatsApp: +86 18992731201

Popüler Etiketler: Yarı iletken kaplama için IRTA kaplamalı 2*3 mm delikli titanyum genişletilmiş ağ, Çin, tedarikçiler, üreticiler, özelleştirilmiş, kullanım, fiyat listesi, satılık, stokta, ücretsiz numune, gözenekli malzeme