Yarı İletken Islak İşleme için 1um Gözenekli Titanyum Filtre Kartuşu

Yarı iletken ıslak işleme için 1um gözenekli titanyum filtre kartuşu, polimer membranların şiştiği veya bozunduğu agresif kimyasal ortamlarda mutlak-nominal parçacık tutma özelliği sağlar. Soğuk izostatik presleme ve yüksek-sıcaklıkta vakumlu sinterleme yoluyla %99,4 veya daha yüksek endüstriyel yüksek-saflıkta titanyum tozundan üretilen bu metal tozu sinterlenmiş filtre, %30-40 arasında değişen gözenekliliğe ve dar gözenek boyutu dağılımına sahip tek tip mikro gözenekli yapıya ulaşır. API farmasötik üretimi karbon giderme filtrelemesinde, 1μm sinterlenmiş titanyum çubuk filtre, yüksek viskoziteli ana likörlerdeki ince aktif karbon kalıntılarını ve ince katalizör parçacıklarını yakalar ve yeniden kullanılabilir geri yıkama özelliği sayesinde hizmet ömrünü membran alternatiflerinin ötesine birkaç kat uzatır. Islak-proses yarı iletken üretimi, SC-1, SC-2, %49 HF ve HNO₃ akışları için kimyasal dağıtım hatlarına 1um titanyum tozu sinterlenmiş filtreleri entegre eder; burada titanyum alt katman, paslanmaz çelik kalitelerini aşındıran klorür açısından zengin ortamlardan kaynaklanan çukurlaşmaya karşı dayanıklıdır. 1um hassasiyet derecesi, mikron altı silikon içeren partikülleri ve metalik kirletici maddeleri partikül dökmeden giderir ve nanometre ölçekli levha işleme için gereken filtrat saflığını korur.

Yüksek-saflıkta su arıtma döngüsü uygulamaları, titanyum tozu sinterlenmiş elemanın periyodik ozon sterilizasyonuna ve ıslak koşullarda 280 dereceye kadar yerinde buhar-yerinde-döngülerine dayanabildiği, ultrafiltrasyon ve EDI sistemlerinden önce son güvenlik filtrelemesi olarak yarı iletken ıslak işleme için 1um gözenekli titanyum filtre kartuşu kullanır. Termal çevrim altında yumuşayan veya tabakalara ayrılan PTFE membran kartuşlarının aksine, vakumlu- sinterlenmiş titanyum matrisi, pH 1-14 aralığında boyutsal bütünlüğü korur ve gözenek yapısı çökmeden 5,0 bar'a kadar diferansiyel basınçlara dayanır. Gelişmiş fabrikalardaki CMP bulamaç parlatma döngüleri, kolloidal silika veya serya bulamaçlarının tasarlanmış parçacık boyutu dağılımını korurken, toplanmış aşındırıcı büyük boyutlu parçacıkları yakalamak için reçine adsorpsiyon aşamaları sonrası 1 μm titanyum filtre kartuşları kullanır. Partikül saçmama özelliği ve geri yıkama veya ultrasonik temizleme yoluyla çevrimiçi yenilenebilirlik, tekrarlanan yeniden kullanıma olanak tanıyarak, sürekli yarı iletken ıslak tezgah operasyonlarında filtre değiştirme sıklığını ve işletme maliyetlerini azaltır.

Hassas filtreleme derecesi – 1um gözenekli titanyum filtre kartuşu, yarı iletken ıslak işleme hatlarında mutlak-nominal parçacık tutma özelliği sağlar; mikron altı silikon kalıntılarını, metalik kirletici maddeleri ve jel-gibi parçacıkları HF, HNO₃, SC-1 ve SC-2 gibi agresif kimyalardan medya atılımı olmadan çıkarır.

Aşırı pH aralıklarında korozyon direnci – Vakumlu sinterleme yoluyla %99,4'e eşit veya daha yüksek yüksek-saflıktaki titanyum tozundan üretilen bu sinterlenmiş titanyum filtre kartuşu, pH 1-14 ortamlarına dayanır, ıslak tezgahlı kimyasal dağıtım sistemlerinde paslanmaz çelik veya Hastelloy filtrelerini hızla bozan çukurlaşma ve klorür saldırılarına karşı direnç gösterir.

Sıcak DIW ve SIP döngüleri için yüksek termal stabilite – Titanyum tozu sinterlenmiş filtre, ıslak koşullarda 280 derecede sürekli çalışmaya dayanır ve polipropilen veya PTFE membran kartuşlarında yaygın olarak kullanılan ekstraktları yumuşatmadan, katmanlara ayırmadan veya süzmeden buharla-yerinde- sterilizasyonu ve sıcak deiyonize su durulamalarını destekler.

No particle shedding – Unlike depth filters or wound cartridges, the rigid sintered metal structure eliminates fiber release or media migration, maintaining ultrapure filtrate essential for nanometer-scale wafer fabrication where any foreign particle >0,5μm ölümcül cihaz arızalarına neden olur.

Mükemmel geri yıkama yenilenebilirliği – 1um gözenekli titanyum filtre kartuşu, çevrimiçi geri yıkamayı, ultrasonik temizlemeyi ve asit rejenerasyonunu destekler, yakalanan katıları giderir ve düzinelerce yeniden kullanım döngüsü boyunca başlangıç ​​akış hızlarını eski haline getirir, yüksek-hacimli fabrikalarda kartuş değiştirme sıklığını ve işletme maliyetlerini önemli ölçüde azaltır.

Yüksek diferansiyel basınç toleransı – Vakum-sinterlenmiş titanyum matris, 5,0 bar'a kadar diferansiyel basınçlar altında gözenek yapısı bütünlüğünü korur ve yarı iletken ıslak işleme ekipmanındaki aşırı akışlar veya tıkanma olayları sırasında çöken veya yırtılan membran filtrelerden daha iyi performans gösterir.

Plaka fabrikalarında yüksek-saflıkta kimyasal dağıtım hatları – %49 HF, HNO₃, NH₄OH, H₂SO₄ ve HCl akışları için-kullanım-noktası (POU) filtre muhafazalarına takılan 1um sinterlenmiş titanyum filtre kartuşu, ıslak tezgahlardan ve tekli- levha işlemcilerinden önce mikron altı metalik partikülleri ve silikon tozunu giderir.

Ozonlanmış deiyonize su (DIO₃) devridaim döngüleri –-CMP sonrası temizleme ve fotorezist sıyırma araçlarında güvenlik filtrelemesi olarak uygulanır. 1um gözenekli titanyum kartuş, polipropilen filtrelerin kırılganlaştığı ve PTFE membranların mekanik bütünlüğünü kaybettiği 20 ppm'ye kadar ozon konsantrasyonlarına ve sürekli UV ışınlarına maruz kalmaya dayanıklıdır.

CMP slurry polishing loops – final polish and bulk removal – Positioned after slurry blending tanks and before dispense arms for colloidal silica, ceria, or alumina slurries. The sintered titanium filter traps over-sized agglomerates (>1um) yerel parçacık boyutu dağılımını ve zeta potansiyelini korurken tutarlı bir uzaklaştırma oranını ve-levha düzensizliği-(WIWNU) dahilinde korur.

Post-CMP fırça kutusu yıkayıcı su filtrelemesi – Plaka cilalamadan sonra kalan aşındırıcı parçacıkları ve bakır iyonlarını yeniden yakalamak için PVA fırçalarını besleyen deiyonize su hatlarına takılır. 1um mutlak derecesi, fırça teması sırasında bakır ve düşük-k dielektrik yüzeylerde mikro çizikleri önler.

Ultra saf su (UPW) parlatma döngüsü son güvenlik filtresi – Islak aşındırma ve durulama istasyonlarında kullanım noktası (POU) valflerinin ilerisine konumlandırılır. Titanyum tozu filtre kartuşu, sıcak UPW (80 derece) ve periyodik buhar sterilizasyon döngülerinde partikül dökmeden çalışır, bakteri kontrolünü ve partikül sayısını sınıf 1 gerekliliklerinin altında tutar.

Bariyer/tohum katmanları için akımsız nikel ve kobalt kaplama banyoları – Stabilizatörlerden ve kompleksleştirici maddelerden partikül kontaminasyonunu gidermek için kaplama banyosu arıtma kızaklarına entegre edilmiştir. Korozyona-dirençli titanyum matris, yüksek sıcaklıklarda (70-90 derece) ve alkali pH'ta, hidrojen gevrekleşmesi veya banyo kirliliği olmadan çalışır.

Tel: 0917-3873009

Telefon: +86 18992731201

E-posta:zhangjixia@bjygti.com

Faks: 0917-3873009

Adres: Hayır. 195, Gaoxin Bulvarı, Yüksek-Teknoloji Geliştirme Bölgesi, Baoji Şehri, Shaanxi, Çin

WhatsApp: +86 18992731201

Popüler Etiketler: Yarı iletken ıslak işleme için 1um gözenekli titanyum filtre kartuşu, Çin, tedarikçiler, üreticiler, özelleştirilmiş, kullanım, fiyat listesi, satılık, stokta, ücretsiz numune, gözenekli malzeme