Yarı İletken Endüstrisi Için 0,5μm 316L Sinterlenmiş Paslanmaz Çelik Filtre Kartuşu

Bu mini hassas filtre kartuşu, yarı iletken yüksek temizlik uygulamaları için özel olarak geliştirilmiştir. Yüksek saflıkta 316L paslanmaz çelik tozundan yüksek sıcaklıkta vakumlu entegral sinterleme yoluyla üretilir; kompakt boyutu φ12,5×20 mm ve 0,5μm ultra ince filtrasyon derecesine sahiptir. Geleneksel filtre elemanlarının aksine, monolitik gözenekli yapı dikiş çizgilerini, toz dökülmesini ve malzeme sızmasını ortadan kaldırarak yarı iletken üretiminin gerektirdiği ultra yüksek temizlik, düşük partikül kontaminasyonu ve kararlı ortam performansı gereksinimlerini karşılar.

Miniyatür ayak izi, yarı iletken ekipmanların içindeki sınırlı kurulum alanlarına uyacak şekilde tasarlanmıştır; proses gazları ve sıvılarının küçük akışlı, yüksek hassasiyetli saflaştırılması için geliştirilmiştir. Sinterlenmiş gövde, homojen bir üç boyutlu birbirine bağlı gözenek ağı oluşturarak alt mikron partikülleri, tozu, metalik döküntüleri ve kristalin kalıntıları güvenilir bir şekilde yakalar. Sıcaklık çevrimlerine, korozyona ve basınç dalgalanmalarına karşı olağanüstü direnç sunar. Filtre, tekrar kullanım için rejenere edilebilir; hassas boru hatlarının mikro tıkanması, sensör aşınması, yetersiz ortam saflığı ve beklenmedik ekipman arıza süreleri dahil olmak üzere yaygın yarı iletken üretim sorunlarını etkili bir şekilde hafifletir.

Malzeme: yüksek saflıkta 316L paslanmaz çelik

Boyut: φ12,5 mm × 20 mm (özel minyatür boyut)

Gözenek boyutu: 0,5 μm

Üretim süreci: Yüksek sıcaklıkta vakumlu entegral sinterleme, dikişsiz ve partikülsüz

Rejenerasyon yöntemi: Ultrasonik temizlik, yüksek saflıkta gaz geri yıkaması, UPW durulama

Özelleştirme: Çok çeşitli yarı iletken işleme ekipmanlarına uyacak şekilde özel boyutlar, uç bağlantıları ve gözenek boyutları sunulur

Avantajlar

 

Kontaminasyon Kontrolü için 0,5μm Ultra İnce Filtrasyon
0,5μm hassasiyet derecesi, yarı iletken üretiminde verim kaybının kritik kaynakları olan alt mikron asılı partikülleri, metalik tozu, kolloidleri ve küçük kristalleri verimli bir şekilde tutar. Partikül kontaminasyonunun neden olduğu wafer kusurlarını, kaplama kusurlarını ve mikro tıkanmaları önleyerek proses tutarlılığını stabilize eder ve orta-yüksek seviye yarı iletken prosesleri için üretim verimini artırır.

Yüksek Saflıkta 316L Malzeme, Sıfır İkincil Kontaminasyon
Yarı iletken sınıfı yüksek saflıkta 316L paslanmaz çelik ile üretilen malzeme, asitlere, alkalilere, organik çözücülere ve özel yarı iletken proses ortamlarına karşı mükemmel direnç gösterir; iyon göçü ve safsızlık salınımı minimumdur. Dikişsiz sinterlenmiş yapı, partikül dökülmesini önleyerek temiz oda standartlarına uygundur. İkincil kontaminasyon getirmeden UPW, yüksek saflıkta proses gazları, hassas kimyasallar ve fotolitografi yardımcı sıvılarının saflaştırılması için uygundur.

 

Ekipman Entegrasyonu için Kompakt Minyatür Tasarım
Küçük boyutu φ12,5×20 mm olan bu hafif kartuş, sınırlı alanlarda esnek kurulum sağlar. Küçük çaplı borular, kompakt mikro filtre düzenekleri, gömülü enstrüman boşlukları, numune alma portları ve havalandırma hatlarına uyum sağlar; otomatik yarı iletken hassas ekipmanları içinde kritik ayak izini korur.

Sürekli Üretim için Sağlam Monolitik Yapı
Tek parça sinterlenmiş gövde, yüksek mekanik dayanım ve yapısal sertlik sunar. Deformasyon, gözenek çökmesi veya gözenek boyutu kayması olmadan basınç dalgalanmalarına, sürekli sıvı yıkamaya ve alternatif sıcak/soğuk koşullara dayanır.

 Uygulamalar

Yüksek saflıkta proses gazı filtrasyonu: Azot, argon, temiz kuru hava ve diğer taşıyıcı / tahliye gazı kolları için kullanım noktası filtrasyonu; havadaki ince partikülleri ve metalik döküntüleri uzaklaştırarak CVD, aşındırma ve difüzyon için proses odalarını korur.

UPW mikro akış saflaştırması: Ultra saf su kolları ve ekipman girişleri için ön filtrasyon; asılı katı maddeleri ve boru hattı korozyon partiküllerini yakalayarak wafer kontaminasyonunu önler.

Hassas enstrümanlar ve sensörler için koruma: Çevrimiçi gaz analizörleri, basınç/akış sensörleri ve numune alma hatları için dahili filtrasyon; hassas bileşenleri partikül aşınması, mikro tıkanma ve ölçüm kaymasından korur.

Mini yarı iletken ekipmanları için havalandırma ve solunum filtrasyonu: Proses odaları, küçük sıvı rezervuarları ve temiz ekipman solunum valflerine monte edilerek ortam tozunu engeller ve iç temiz atmosferi korur; dış kirleticilerin proses sistemlerine girmesini önler.

Fotokimya ve proses reaktiflerinin filtrasyonu: Mikro hacimli proses kimyasalları, temizlik solventleri ve fotolitografi yardımcı sıvılarının berraklaştırılması; aglomera partikülleri uzaklaştırarak litografi kusurlarını ve substrat kontaminasyonunu azaltır.

Vakum sistemi filtrasyonu: Mikro vakum boru hatları ve valfleri için koruma; aşınma döküntülerini ve proses kalıntılarını tutarak vakum kararlılığını ve proses doğruluğunu sürdürür.

 

 

 

Tel: 0917-3873009

Phone: +86 18992731201

Email: zhangjixia@bjygti.com

Fax: 0917-3873009

Address: No. 195, Gaoxin Avenue, High-tech Development Zone, Baoji City, Shaanxi, China

Whatsapp: +86 18992731201

Popüler Etiketler: Yarı İletken Endüstrisi Için 0,5μm 316L Sinterlenmiş Paslanmaz Çelik Filtre Kartuşu,Mikro Gözenekli Filtre Bileşenleri ve Mikro Gözenekli Filtre Elemanları